最近の技術から--機能集積型マイクロスキャナ-を用いた小型光走査型イメ-ジセンサ-,面発光型半導体レ-ザ-を用いたマイクロエンコ-ダ-,圧電アクチュエ-タ-を用いた可変焦点レンズ,高電圧マイクロ光電変換デバイス,レ-ザ-駆動マイクロポンプ (光マイクロマシン)
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概要
著者
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池田 正哲
オムロン
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後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
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松本 幹雄
オムロン株式会社 中央研究所
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池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
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松本 幹雄
オムロン(株)中央研究所
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