シリコンマイクロミラーを用いた超小型2次元光センサ
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概要
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シリコンマイクロマシニング技術を応用した圧電素子で駆動するマイクロミラー(光スキャナ)を開発した。この光スキャナは15mmx5mmx3mm小型で、2次元の光スキャニングが可能である。しかも40度以上の大きなスキャン角が10V程度の低駆動電圧で得られた。この光スキャナを光センサへ応用することによって、超小型の2次元光センサが実現でき、2次元の物体検知が可能となった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-08-27
著者
-
池田 正哲
オムロン
-
後藤 博史
サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員
-
今仲 行一
オムロン(株)
-
米田 匡宏
オムロン(株)
-
後藤 博史
オムロン中央研究所
-
池田 正哲
オムロン中央研究所
-
米田 匡宏
オムロン中央研究所
-
今仲 行一
オムロン中央研究所
-
池田 正哲
オムロン株式会社 中央研究所
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