坂田 稔 | オムロン(株)

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概要

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関連著者

• 坂田 稔

  オムロン 中研

• 坂田 稔

  オムロン株式会社技術本部中央研究所マイクロマシニングラボ

• 坂田 稔

  オムロン(株)筑波研究所

• 坂田 稔

  オムロン(株)

• 矢田 恒二

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• 後藤 博史

  サムスン総合技術院 Memsラボ 専門研究員

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  オムロン株式会社 中央研究所

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  オムロン株式会社技術本部中央研究所

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  オムロン(株)筑波研究所

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著作論文

• 小型2次元光走査機構の開発 : 第2報, 低電圧駆動, 大走査角化を目的とする2自由度板ばね振動子の高性能化
• 機能集積化シリコンマイクロスキャナの開発
• ワブルモータの開発
• 座屈型圧電アクチューエーターの開発

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