2-3 RF MEMSスイッチ(2. RF MEMS)(<特集>日本のモノづくりを支えるJisso技術)
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概要
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情報通信の多様化に伴い,様々な機器に無線通信回路が搭載されるようになり,回路を構成する素子はより一層の小型化/高周波化/広帯域化が求められている.中でも主要部品であるスイッチング素子の高性能化なしには次世代情報通信の実現が困難であることが予想される.そこで実現手段の一つとして三次元微細加工技術と高周波線路設計を融合したRF MEMS技術は期待が高く,主要回路素子の提案が多くなされており,技術レベルは実用化の段階に入ってきた.本稿では,現在開発しているRF MEMSスイッチを紹介し,実装への影響を解説する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-01
著者
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