RF-MEMSスイッチ(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」)
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概要
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高度情報化社会が進むにつれ、機器間/機器内の伝達速度向上のため、GHz帯域の高周波信号が多く使用されている。より高い周波数に向けて、超小型かっ低損失など優れた特性を実現できる可能性から、MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems)技術への期待が高くRF-MEMS技術として盛んな研究開発が行われている。RF-MEMS技術の応用例として筆者らはMMR(Micro Machined Relay)と呼ぶRF-MEMSスイッチの研究開発を行っている。MMRは独自の非線形ばね構造とコプレナ線路を適用した高周波構造を持ち、DC〜20GHzの広帯域に渡り優れた高周波特性を得ている。 MMRは、超小型化、低消費電力、回路素子との集積化及びアレイ、マトリクス化等の数多くの特長を持つため、高周波化へ進む通信、計測分野における高性能な開閉素子としての可能性も期待できる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-03-09
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