有接点RF MEMSスイッチ/リレー用静電駆動アクチュエータの開発
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概要
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A compact switch/relay with excellent high frequency performance at around 2GHz is developed by adopting a novel non-linear spring structure and high frequency signal line structure.The non-linear spring system applied to an electrostatic actuator of RF MEMS switch/relay increases restoration force for switching reliability. The maximum restoration force can be three times higher than that of a linear spring system actuator. No failure due to restoration force shortage is observed during switching test up to 100 million cycles. The present RF MEMS switch/relay has been shown competitive RF performance over conventional RF switches such as PIN diodes and GaAs MMIC both by the experimental results.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-02-01
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
積 知範
オムロン
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
佐藤 文彦
オムロン
-
積 知範
オムロン 先端デバイス研
-
宇野 裕
オムロン株式会社
-
杉山 進
立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科
-
佐藤 文彦
オムロン株式会社
-
今仲 行一
立命館大学
-
積 知範
立命館大学
-
増田 貴弘
オムロン株式会社
-
増田 貴弘
オムロン
-
杉山 進
立命館大学
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