新技術創出のキーとなるMEMSテクノロジー(<特集>「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
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概要
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MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are the micro integrated systems of sensors, actuators, and controlling microprocessor on a millimeter-scale silicon chip by applying and expanding the LSI (Large Scale Integration) fabrication technology. Compared to the LSI devices, in which both of the inputs and outputs are only electric signals, MEMS, acting as the active devices, have the ability to process a wide variety of signals, including : physical (electrical, mechanical, optical, magnetic, etc.), chemical, biological, and the others, and are expected widely in the future applications of the mechatronics industry. In this report, the current situation and future prospects are surveyed.
- 2005-11-01
著者
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