マイクロプロセス技術によるマイクロコネクタの製作
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-12-19
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
鳥山 寿之
立命館大学 COE 推進機構
-
鳥山 寿之
立命大理工
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
鳥山 寿之
立命館大学 理工学部マイクロ機械システム工学科
-
鳥山 寿之
立命館大
-
海野 敏典
立命館大学大学院理工学研究科
-
横山 好彦
立命館大学
-
BHUIYAM Mohammed.
立命館大学
-
杉山 進
立命館大学
-
鳥山 寿之
立命館大学
関連論文
- 発電用マイクロレシプロエンジンの設計
- 2704 マイクロガスタービンエンジン用燃焼器の流体解析(OS27.一般セッション(1),ポスターセッションP-4)
- 303 マイクロガスタービンエンジン用燃焼器のシミュレーションベース・デザイン(MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション(1),OS03 MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション)
- MEMS構造を用いたタングステンシリサイド薄膜の特性評価
- ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を持つポリマーMEMSデバイスの低コスト製作プロセスの研究
- 2P5-4 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ(ポスターセッション)
- 20aEL-9 拡張されたLorenz方程式に従うカオスガスタービン(20aEL 保存力学系・力学系とそのモデル,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ (超音波)
- シリコン歪ゲージを用いた力計測用マイクロセンサ : 力センサの構造設計, 試作, 評価実験
- 1A1-D02 可変焦点ミラーを用いた三次元画像入力システムの試作
- A-2-25 カオスガスタービンの運動方程式としての拡張されたLorenz方程式(A-2.非線形問題,一般セッション)
- SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- 高感度機械量センサのためのナノ材料の物性の測定と解析
- US2010-28 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ(医用超音波,アコースティックイメージング,一般)
- 円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究
- 電池レス無線MEMSセンサ-SNA-MEMS-の開発
- マルチチップサービス初回ランで試作したアナログICの報告
- 427 単結晶シリコン材料のピエゾ抵抗物性シミュレーション(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価
- 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 425 シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の特性評価(WS-1 マイクロデバイスの加工と材料評価)
- UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価
- マイクロプロセス技術によるマイクロコネクタの製作
- n型β-SiCのピエゾ抵抗効果の電子輸送と変形ポテンシャル理論に基づく解析
- 単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価
- 2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
- センサ用薄膜内部応力のアニール効果のラマン分光法による検討
- 価電子バンドに基づくp型Siのピエゾ抵抗効果の解析
- マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発
- 3軸の応力成分を利用した高圧測定用シリコンピエゾ抵抗型圧力センサの開発
- 応力の3軸成分を有効利用したピエゾ抵抗型カセンサ
- 半導体ピエゾ抵抗素子のひずみ : 抵抗係数とその結晶方位依存性
- 特別講演1 MEMSが拓くメカトロニクスの将来 (第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法
- 26pTH-5 拡張されたLorenz方程式に従うカオスガスタービン(26pTH 離散系・力学系とそのモデル(電気回路網など),領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- 先端光学デバイス創製用SR光ナノフォーミング金型の開発 (特集 中小企業が切り拓く先端的型技術--折り返しを迎えた戦略的基盤技術力強化事業) -- (超微細・精密・複雑構造部品成形加工金型技術)
- 展望 放射光による微細加工 (特集 放射光と高分子)
- 放射光リソグラフィーによる3次元マイクロ・ナノ構造の製作
- サーモパイルを用いた熱式MEMSフローセンサの開発
- 有接点RF MEMSスイッチ/リレー用静電駆動アクチュエータの開発
- 有接点RF MEMSリレーの開発
- 解説 マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー(ファンダリー・ネットワーク構築に向けて) (特集 マイクロマシン--実用化とナノ領域への展開)
- 放電プラズマ焼結法を利用した金属間化合物系材料の製造--MEMSへの応用をねらったマイクロパーツの製作 (特集 放電プラズマ焼結法(SPS)による新材料開発)
- LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の製作に関する研究
- 超音波プローブ用アレイ型振動子の作製
- バルクセラミックスPb(Zr, Ti)O_3を用いた圧電マイクロアクチュエータの作製
- PZTバルク/Siダイアフラム構造圧電型圧力センサの構造設計
- 1Pb-54 穿刺用リング型超音波プローブの基礎特性(ポスターセッション)
- 放射光による微細加工
- LIGA プロセスによる3次元微細加工
- 絶好のチャンス
- シンクロトロン放射光の整形ビームによるPMMAの三次元加工法の提案
- 544 ラチエット機構を有するマイクロコンテナを用いたマイクロトランスポーテーションシステム(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- マイクロフォース・モーメントセンサ埋め込み型柔軟指先の製作と圧縮実験による評価(機械力学,計測,自動制御)
- 新技術創出のキーとなるMEMSテクノロジー(「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
- 放射光リソグラフィーによる三次元マイクロ・ナノ構造の形成
- 低G検出用静電容量型加速度センサ
- 5301 モデル縮約法による高速動的構造解析(J17-1 解析・設計の高度化・最適化(1)(解析の高度化),J17 解析・設計の高度化・最適化:解析の高度化)
- 2A1-H5 ウエアラブルな可変拘束要素の開発(70. 人間機械協調I)
- A-2-17 拡張されたLorenz方程式の動力学的性質(A-2.非線形問題,一般セッション)
- A-2-10 Lorenz方程式に従うカオスガスタービン(A-2. 非線形問題,一般セッション)
- 微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス(マイクロマシン関連技術)
- 集団同期のネットワークセンシングへの応用
- コッセラ連続体におけるエネルギ解放率と微視的構造の関係
- 静電駆動式ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの力学的特性評価
- 小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討
- S45C焼入れ・焼もどし材の超長寿命引張圧縮疲労特性(疲労)
- 303 多結晶体の集合組織による異方性の特徴について(応力測定・組織・複合材)
- 302 マイクロコンプレッサ翼形設計のための数値マイクロ風洞試験(MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション(1),OS03 MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション)
- W1 Power MEMS・マイクロヒートエンジンの開発動向(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
- MA-SPS 粉末焼結法の LIGA プロセスへの応用
- マイクロ引張試験チップによるカーボンナノワイヤの機械・電気特性評価に関する研究(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
- 圧電バイモルフ型マイクロバルブの製作
- 立命館大学21世紀COEプログラム「マイクロ・ナノサイエンス・集積化システム」の紹介
- マイクロマシニング・マルチチップサービスの期待と課題
- PS02 MEMSターボ機械用燃焼器の流体・構造解析(ポスターセッション)
- T0302-3-4 犠牲層ウェットエッチングにおける物理パラメータのキャリブレーション([T0302-3]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(3):微小構造部材の加工・評価)
- 1513 MEMSウェットエッチング特性の陰的パラメータ表現によるプロセスシミュレーション(OS15.電子デバイス・電子材料と計算力学(4),オーガナイズドセッション)
- 2P2-B13 MEMSフォースセンサを用いたソフトフィンガ型触覚デバイスの開発と接触実験
- PS09 超小型ターボ機械用ロータの構造と空力設計に関する考察(ポスターセッション)
- 立命館大学 マイクロシステム技術研究センター
- マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー(ファンダリー・ネットワーク構築に向けて)
- G0300-7-6 多結晶シリコン材料のピエゾ抵抗効果評価法([G0300-7]材料力学部門一般講演(7):材料強度)
- OS0415 応力印加によるバルクシリコンのバンドひずみとピエゾ抵抗物性への効果(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(2))
- 636 シリコンナノワイヤーのピエゾ抵抗効果に関する第一原理計算(OS11-1 電子・原子レベルのマルチシミュレーションとその応用)
- 22aGS-1 乱流熱対流モデルとしての拡張ローレンツ方程式(22aGS 力学系とその周辺・数値計算アルゴリズム・その他の数理モデル・剛体・弾性波,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を接合積層した大変位ポリマーMEMSの製作プロセス開発
- UV厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作
- 乱流熱対流モデルとしての拡張ローレンツ方程式の可能性について (非線形問題)
- 乱流熱対流モデルとしての拡張ローレンツ方程式の可能性について
- 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- 穿刺用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理
- 優先配向を有する多結晶シリコン薄膜におけるピエゾ抵抗係数の上下界導出法
- 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理
- 27aGJ-7 マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状(27aGJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 穿刺用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理