3軸の応力成分を利用した高圧測定用シリコンピエゾ抵抗型圧力センサの開発

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概要

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• 立命館大学の論文

著者

• 鳥山 寿之

  立命大理工

• 鳥山 寿之

  立命館大学 理工学部マイクロ機械システム工学科

• 鳥山 寿之

  立命館大

• 谷本 靖忠

  立命館大学

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