2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
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概要
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This paper describes design and experiment of a self-supporting poly-Si thermoelectric device. The device can be used for sensing element of temperature sensors, radiation sensors, and power suppliers. Thermoelectric legs are made of Au/Cr and poly-Si. The array that is connected with 10 thermoelectric legs can be realized. The device was fabricated by the MICS (Micromachine Integrated Chip Survice). Results of experiments were compared with a calculation in order to confirm the function of the proposed device.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
鳥山 寿之
立命館大学 COE 推進機構
-
小西 聡
立命館大学
-
鳥山 寿之
立命大理工
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
鳥山 寿之
立命館大学 理工学部マイクロ機械システム工学科
-
鳥山 寿之
立命館大
-
矢島 正一
立命館大学
-
福枡 恵一郎
立命館大学
-
杉山 進
立命館大学
-
鳥山 寿之
立命館大学
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