静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
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概要
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次世代フォトニック・ネットワーク技術として期待されている波長多重(Wavelength Division Multiplexing,WDM)伝送システムにおいて、光ファイバアンプとして多く用いられているエルビウム添加ファイバアンプ(Erbium Doped Fiber Amplifier,EDFA)は不均一な利得特性を有す。EDFAの不均一な利得特性を均一化する方法として可変利得等化器(Dynamic Gain Equalizer,DGEQ)の利用が挙げられる。本研究では高分解能、並列動作、大変位を特徴とするMEMSアクチュエータアレイを用いた機械式DGEQの研究を行っている。本稿では、駆動特性向上を目指したMEMSアクチュエークアレイ駆動ステージ部における基板外方向変位の抑制について述べる。また、光損失スペクトルの高解像度化実現のため、スライダの集積化を行ったスライダシステムについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-04-13
著者
-
片山 誠
住友電気工業株式会社
-
小西 聡
立命館大学
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佐野 知巳
住友電気工業(株)
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前田 拓斗
立命館大学理工学部
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熊ヶ谷 育生
立命館大学理工学部
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春本 道子
住友電気工業株式会社
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佐野 知巳
住友電工(株)
-
春本 道子
住友電工(株)
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佐野 知巳
住友電気工業株式会社
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春木 道子
住友電気工業株式会社
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春本 道子
住友電気工業
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小西 聡
立命館大学理工学部
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佐野 知巳
住友電気工業株式会社光通信研究所
-
片山 誠
住友電気工業
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