酸化インジウム薄膜マイクロセンサの塩素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気化学会化学センサ研究会の論文

著者

• 小西 聡

  立命館大学

• 小椋 俊介

  立命館大学

関連論文

• 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• PET診断に用いる^F^-イオン捕捉・回収セルへのパイロポリマー電極の応用に関する研究
• マイクロチャンネルアレイ構造を有した細胞間ネットワーク解析用デバイス
• 2A1-3F-G3 並列動作型 ECLIA を用いた可変利得等化器
• 柔軟マイクロアクチュエータを用いた網膜色素上皮移殖ツールの研究開発
• 標本の特性変化に適応可能な直列多段型血球分離デバイス
• セルフアライメント機能を有する細胞内挿入型ナノプローブ
• 神経信号計測用柔軟プローブへのワイヤボンディング技術の応用
• 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
• 神経電気信号送受信用微小電極とその固定機構
• MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
• 静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータを用いた光通信用可変利得等化器
• 光通信用可変利得等化器応用を目指した静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータの集積化
• 多数細胞電気信号一括計測用バイオセンサ
• 細胞電気信号個別計測用デバイスの製作(生体機能計測制御のためのマイクロ・ナノメカトロニクス)
• MEMS技術を用いた音響増幅機構
• 静電吸着制御型圧電駆動鉛直動作アクチュエータ
• 408 細胞電気信号計測用ナノ電極の形成
• 407 細胞電気信号計測可能な電極の形成
• 406 生体電気信号計測のための導電性材料充填型微小針型電極の形成
• 2P1-3F-G4 集束イオンビーム加工を援用した細胞電気信号計測用デバイスの製作
• 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
• 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
• MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
• MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
• 541 吸着機構によるせん断変位を利用したマイクロ移動デバイス(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 局所的診断・治療のための吸着固定機能を有した医療用マイクロデバイス
• 2P1-3F-G3 導電性材料注入法による生体電気信号計測用微小針型電極の製作
• 神経束の選択的部分的刺激の試み
• 神経束の選択的刺激用電極デバイスの開発
• 酸化インジウム薄膜マイクロセンサの塩素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
• 圧力駆動柔軟マイクロアクチュエータの網膜色素上皮移植への応用
• 2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
• マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発
• インクジェットプリンティング技術による金属微細構造の製作
• MEMS技術を用いた医療応用指向マイクロマニピュレーションシステム
• ALL-N-006 ミクロ世界との遭遇ロボット「みゆーたん」の研究開発(NEDO次世代ロボット実用化プロジェクト(プロトタイプ開発支援事業),生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 2A1-47-059 フィルム型形状記憶合金アクチュエータ
• SU-8の炭化によるパイロポリマーの三次元マイクロ構造の実現
• 低G検出用静電容量型加速度センサ
• 医療応用を指向した圧力駆動柔軟アクチュエータのための流路抵抗型変形センシングシステム
• T1501-1-3 触覚呈示機能を有するマイクロマニュピレータ用マスタースレイブシステム(マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用(1))
• 542 柔軟マイクロアクチュエータの医療応用(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 研究会活動報告 平成17年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会報告
• 2P1-3F-D4 多数マイクロマシンを用いた物体搬送システムの制御手法に関する研究 : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
• 1410 分散型搬送システム内の有限体積法を用いた数値シミュレーション(GS-5 キャビテーション)
• 2731 マイクロアクチュエータにおける有限体積法を用いた流動解析
• 2A1-H5 ウエアラブルな可変拘束要素の開発(70. 人間機械協調I)
• 微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス(マイクロマシン関連技術)
• 高分解能、並列動作マイクロアクチュエータを用いた微少量液制御シリンジ
• 自律分散型マイクロ搬送システムの実現
• パイロポリマーの電気特性におけるNO2ガス吸着効果
• 1P1-H12 空気圧駆動による流量制御機構を備えた非接触マイクロ搬送システム
• 無電解めっきの水平方向成長による立体交差配線
• ACT-2-4 低侵襲医療用ソフトMEMS(ACT-2.低侵襲医療診断・治療を実現するエレクトロニクス技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
• ACT-2-4 低侵襲医療用ソフトMEMS(ACT-2.低侵襲医療診断・治療を実現するエレクトロニクス技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
• 細胞電気信号計測のためのMEMSバイオセンサの研究
• 吸着固定機構による生体と診断・治療用デバイスとの相対位置確保に関する研究
• 2A1-3F-G1 微細な MEMS 構造への圧電素子の実装とその応用
• 特性可変音響素子の組み合わせによるチューナブル音響フィルタ(機械力学,計測,自動制御)
• マイクロバルーンアクチュエータによる音響共鳴器のインピーダンス制御
• 2A1-47-058 圧力駆動バルーン構造を利用した柔軟フィルムアクチュエータ
• 多段櫛歯型静電アクチュェータによ連鎖動作
• 静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータ
• ナノギャップ電極を持つWO3ナノセンサのNO2検知特性に及ぼす膜厚の効果
• マイクロヒータの自己発熱による高温熱処理パイロポリマーの実現
• インチワーム型リニアアクチュエータに関する研究
• 特集5 : 研究速報 : 自律分散型マイクロ搬送システムの一構成法
• 網膜色素上皮移植用マイクロデバイスへの触覚センサの集積一体化
• 柔らかいマイクロマシンによる柔らかい医療ツール
• MEMS 2008国際会議報告
• 診断・治療のためのマイクロ体内ロボット (特集 マイクロ・ロボット)
• W11(4) 固いマイクロアクチュエータ、柔らかいマイクロアクチュエータ、その活かし方(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
• 立命館大学 理工学部 マイクロ機械システム工学科 マイクロ・ナノメカトロニクス研究室
• 2P1-D18 層間選択的標本転送システムのための流体ゲートアレイ(ナノ・マイクロ流体システム)
• 1P1-N05 神経信号送受信用微小電極とその接触制御(MEMSとナノテクノロジー)
• 2A1-F04 精密位置決め機構による静電吸着制御型リニアアクチュエータの構成(MEMSとナノテクノロジー)
• 1A1-E13 マイクロハンドによるミクロ世界との遭遇ロボット「みゅーたん」に関する研究の展開
• 2A2-O07 光学的・電気的観察機能を有した細胞信号計測用MEMSデバイス(ナノ・マイクロバイオシステム)
• 2A1-N-089 Si構造体と柔軟薄膜による多点支持型能動曲面(MEMSとナノテクノロジー1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 音響FETによる音響差動増幅回路の構成
• MEMS技術を用いた音響増幅機構
• 2A1-3F-G2 高機能音響システムにおける能動素子 : 音響増幅機構
• 1P1-C03 シリコンラバー製の気体・液体両用蠕動型マイクロポンプ
• 1P1-N04 静電吸着制御型マイクロアクチュエータの光通信応用(MEMSとナノテクノロジー)
• 吸着固定機構による生体と診断・治療用デバイスとの相対位置確保に関する研究
• 2P1-L14 柔軟マイクロアクチュエータを用いたESDレトラクタの開発
• 2P1-K14 圧力駆動式バルーンアクチュエータの屈曲動作から伸縮動作への動作変換機構とその応用
• 1P1-C14 吸盤足の吸着制御による移動マイクロロボット
• 共焦点レーザー顕微鏡によるマウス組織固定吸引デバイスを用いた初代間葉系幹細胞の real time imaging
• 2A1-G27 パイロポリマーのPET診断用薬剤合成セル電極への応用に関する研究
• 2A1-G25 力覚呈示システムを有する柔軟マイクロアクチュエータの医療応用
• G309 旋回流機構の分散配置に基づく高性能非接触吸引チャックに関する研究(GS2 乱流の諸問題,一般セッション)
• 空間配列微小電極を用いたマウス網膜の光応答シグナル記録
• MNM-KN-5 マイクロロボット技術の医療応用(キーノート・セッション)
• マイクロシリンダアクチュエータ構成によるワイヤー駆動マニピュレータ
• G134 空気旋回流のアレイ構造を用いた高性能非接触吸引デバイスに関する研究(一般講演(5))
• 1A2-H17 空気旋回流のアレイ構造を用いた非接触吸引デバイス(MEMSとナノテクノロジー)
• 1A2-H16 FEM解析に基づいたPDMS製圧力駆動バルーンアクチュエータの変形動作シミュレーション(MEMSとナノテクノロジー)
• 1A2-H02 導電性液体を用いた低拘束力MEMSポテンショメータ(MEMSとナノテクノロジー)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク