1410 分散型搬送システム内の有限体積法を用いた数値シミュレーション(GS-5 キャビテーション)
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概要
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To generate dust and shock becomes a problem in semiconductor factories. To avoid this, non-contact conveyance system, which can levitate and drive objects such as silicon wafer by airflow without contact, has been developed. In this paper, we performed three-dimensional flow simulation in order to study the movement of an object in this system. The velocity distributions and the pressure distributions under various conditions of airflow are analyzed. We examine the relation between the flow rate of the air, the mass of an object and the floating height.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-03-16
著者
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