静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータ

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概要

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• 2002-12-01

著者

• 小西 聡

  立命館大学

• 宗近 正紀

  立命館大

• 宗近 正紀

  立命館大学

• 澤井 拓彦

  立命館大学

• 吉藤 健次

  立命館大学

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