静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータを用いた光通信用可変利得等化器
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概要
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This paper proposes an optical dynamic gain equalizer (hereafter DGEQ) using an electrostatic controlled linear inchworm actuator (hereafter ECLIA). A slider of ECLIA attenuates an intensity of an optical beam, so that parallel motions of arrayed sliders can control and equalize spectrums of demultiplexed signals. A designed DGEQ takes the following advantages of ECLIA to provide gain flattening of spectral gain non-uniformities: Precise motion, Large stroke, Parallel motions of arrayed sliders. Through our experiments, 1dB attenuation of optical intensity was obtained by 20μm motion of a single slider. Furthermore, the optical attenuation by independent motions of 3 sliders has been confirmed. Batch-fabrication of arrayed sliders into a SOI substrate will be described towards a ECLIA based DGEQ with higher resolution. The batch-fabricated slider could be operated successfully. Each slider could move over 150μm range with nm order precision.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2005-08-01
著者
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片山 誠
住友電気工業株式会社
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小西 聡
立命館大学
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大島 章義
立命館大
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宗近 正紀
立命館大
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佐野 知巳
住友電気工業(株)
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木下 暢人
立命館大学理工学部
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大島 章義
立命館大学
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宗近 正紀
立命館大学
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佐野 知巳
住友電工(株)
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佐野 知巳
住友電気工業株式会社
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佐野 知巳
住友電気工業株式会社光通信研究所
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片山 誠
住友電気工業
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