静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
次世代フォトニック・ネットワーク技術として期待されている波長多重(Wavelength Division Multiplexing,WDM)伝送システムにおいて、光ファイバアンプとして多く用いられているエルビウム添加ファイバアンプ(Erbium Doped Fiber Amplifier,EDFA)は不均一な利得特性を有す。EDFAの不均一な利得特性を均一化する方法として可変利得等化器(Dynamic Gain Equalizer,DGEQ)の利用が挙げられる。本研究では高分解能、並列動作、大変位を特徴とするMEMSアクチュエータアレイを用いた機械式DGEQの研究を行っている。本稿では、駆動特性向上を目指したMEMSアクチュエークアレイ駆動ステージ部における基板外方向変位の抑制について述べる。また、光損失スペクトルの高解像度化実現のため、スライダの集積化を行ったスライダシステムについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-04-13
著者
-
片山 誠
住友電気工業株式会社
-
小西 聡
立命館大学
-
佐野 知巳
住友電気工業(株)
-
前田 拓斗
立命館大学理工学部
-
熊ヶ谷 育生
立命館大学理工学部
-
春本 道子
住友電気工業株式会社
-
佐野 知巳
住友電工(株)
-
春本 道子
住友電工(株)
-
佐野 知巳
住友電気工業株式会社
-
春本 道子
住友電気工業
-
小西 聡
立命館大学理工学部
-
佐野 知巳
住友電気工業株式会社光通信研究所
-
片山 誠
住友電気工業
関連論文
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- PET診断に用いる^F^-イオン捕捉・回収セルへのパイロポリマー電極の応用に関する研究
- MEMS光スイッチアレイ
- B-10-32 SZスロット型NZDSF〔Pure Guide^〕光ケーブルの開発
- B-10-48 陸上用NZ-DSFの曲げ特性及びケーブル特性の評価
- マイクロチャンネルアレイ構造を有した細胞間ネットワーク解析用デバイス
- B-10-5 下水道用600心型光ケーブルの開発
- 2A1-3F-G3 並列動作型 ECLIA を用いた可変利得等化器
- 柔軟マイクロアクチュエータを用いた網膜色素上皮移殖ツールの研究開発
- C-3-123 MEMS 光スイッチ (MEMCROS^) の信頼性
- C-3-122 MEMS-VOA の開発
- C-3-8 PLC実装型2×2光スイッチアレイ
- 防鼠光ケーブルのシース構造の検討
- 標本の特性変化に適応可能な直列多段型血球分離デバイス
- セルフアライメント機能を有する細胞内挿入型ナノプローブ
- SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- 神経信号計測用柔軟プローブへのワイヤボンディング技術の応用
- 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
- 神経電気信号送受信用微小電極とその固定機構
- MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
- 静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータを用いた光通信用可変利得等化器
- 光通信用可変利得等化器応用を目指した静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータの集積化
- 多数細胞電気信号一括計測用バイオセンサ
- 細胞電気信号個別計測用デバイスの製作(生体機能計測制御のためのマイクロ・ナノメカトロニクス)
- MEMS技術を用いた音響増幅機構
- 静電吸着制御型圧電駆動鉛直動作アクチュエータ
- 408 細胞電気信号計測用ナノ電極の形成
- 407 細胞電気信号計測可能な電極の形成
- 406 生体電気信号計測のための導電性材料充填型微小針型電極の形成
- 2P1-3F-G4 集束イオンビーム加工を援用した細胞電気信号計測用デバイスの製作
- 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
- 静電吸着制御型マイクロアクチュエータによる光通信用可変利得等化器の高性能化(光部品の実装・信頼性,一般)
- MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
- MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器(光部品の実装・信頼性,一般)
- 541 吸着機構によるせん断変位を利用したマイクロ移動デバイス(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 局所的診断・治療のための吸着固定機能を有した医療用マイクロデバイス
- 2P1-3F-G3 導電性材料注入法による生体電気信号計測用微小針型電極の製作
- 神経束の選択的部分的刺激の試み
- 神経束の選択的刺激用電極デバイスの開発
- バイオセンシング用光ファイバカプラセンサ
- SR露光によるブレーズ型回折格子の作製
- 光通信用MEMSの疲労特性とデバイス実装(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 導波路型小型多チャンネルWDMフィルタモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
- 導波路型小型多チャンネルWDMフィルタモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
- 導波路型小型多チャンネルWDMフィルタモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
- C-3-103 導波路を用いた小型多チャンネルWDMフィルタモジュール(パッシブデバイス,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 平面導波路とMEMSによる光スイッチと光アッテネータ
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
- 酸化インジウム薄膜マイクロセンサの塩素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
- B-10-53 テープスロット型非ゼロ分散シフトファイバ(NZDSF) : [PureGuid ^P-65]光ケーブルの開発
- 圧力駆動柔軟マイクロアクチュエータの網膜色素上皮移植への応用
- 2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
- マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発
- MEMS多チャンネル光スイッチ「MEMCROS」 (特集:MEMS光スイッチ)
- インクジェットプリンティング技術による金属微細構造の製作
- MEMS技術を用いた医療応用指向マイクロマニピュレーションシステム
- ALL-N-006 ミクロ世界との遭遇ロボット「みゆーたん」の研究開発(NEDO次世代ロボット実用化プロジェクト(プロトタイプ開発支援事業),生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- MEMS-VOA "MEMSHADE^TM"の光学特性評価
- MEMS-VOA"MEMSHADE^TM"の信頼性
- 光スイッチアレイの開発
- 光スイッチアレイの開発
- MEMS光スイッチ(MEMCROS)の開発
- C-3-104 X線による導波路描画に適したシリカガラス系材料の探索
- エキシマレーザーによる電界分極石英ガラス中のSHG相の消去プロセス
- 電界分極Ge-doped石英ガラスの2次の非線形光学性
- 2A1-47-059 フィルム型形状記憶合金アクチュエータ
- SU-8の炭化によるパイロポリマーの三次元マイクロ構造の実現
- B-10-8 テープスロット型非ゼロ分散シフトSMファイバ(NZDSF)光ケーブルの開発
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
- MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
- 情報通信 MEMS片持梁の疲労特性に関する研究
- MEMS応用分散補償器の開発(光計測,光部品,一般)
- 低G検出用静電容量型加速度センサ
- 医療応用を指向した圧力駆動柔軟アクチュエータのための流路抵抗型変形センシングシステム
- T1501-1-3 触覚呈示機能を有するマイクロマニュピレータ用マスタースレイブシステム(マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用(1))
- 542 柔軟マイクロアクチュエータの医療応用(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 研究会活動報告 平成17年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会報告
- 2P1-3F-D4 多数マイクロマシンを用いた物体搬送システムの制御手法に関する研究 : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
- 1410 分散型搬送システム内の有限体積法を用いた数値シミュレーション(GS-5 キャビテーション)
- 2731 マイクロアクチュエータにおける有限体積法を用いた流動解析
- 2A1-H5 ウエアラブルな可変拘束要素の開発(70. 人間機械協調I)
- 微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス(マイクロマシン関連技術)
- 高分解能、並列動作マイクロアクチュエータを用いた微少量液制御シリンジ
- 情報通信 テープスロット型ノンゼロ分散シフトファイバ(NZ-DSF)ケーブルの開発
- 自律分散型マイクロ搬送システムの実現
- パイロポリマーの電気特性におけるNO2ガス吸着効果
- 1P1-H12 空気圧駆動による流量制御機構を備えた非接触マイクロ搬送システム
- 無電解めっきの水平方向成長による立体交差配線
- ACT-2-4 低侵襲医療用ソフトMEMS(ACT-2.低侵襲医療診断・治療を実現するエレクトロニクス技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
- ACT-2-4 低侵襲医療用ソフトMEMS(ACT-2.低侵襲医療診断・治療を実現するエレクトロニクス技術,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
- 細胞電気信号計測のためのMEMSバイオセンサの研究
- 吸着固定機構による生体と診断・治療用デバイスとの相対位置確保に関する研究
- 2A1-3F-G1 微細な MEMS 構造への圧電素子の実装とその応用
- 特性可変音響素子の組み合わせによるチューナブル音響フィルタ(機械力学,計測,自動制御)
- マイクロバルーンアクチュエータによる音響共鳴器のインピーダンス制御
- 2A1-47-058 圧力駆動バルーン構造を利用した柔軟フィルムアクチュエータ
- 1P1-N04 静電吸着制御型マイクロアクチュエータの光通信応用(MEMSとナノテクノロジー)