MEMS-VOA "MEMSHADE^TM"の光学特性評価
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概要
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光可変減衰器(VOA)は、フォトニックネットワークに必要不可欠なデバイスの一つであり、小型・高集積、高信頼性、低価格などが要求されている。我々は、これらの要求に応えるため平面導波路(PLC)とMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を組み合わせたVOAアレイの開発を行った。減衰量制御用のミラーが駆動するための溝を有した石英ガラスPLCとマイクロミラーを持ったシリコンMEMSをフリップチップボンディング技術により接合し、500μm間隔で並列したVOAアレイを作製した。その結果10dB減衰でPDL0.1dB、20dB減衰でPDL0.2dBという良好な特性を得たのでここに報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-12-11
著者
-
片山 誠
住友電気工業株式会社
-
蟹江 智彦
住友電気工業株式会社 光通信研究所
-
須永 隆弘
住友電気工業株式会社
-
菅沼 寛
住友電気工業株式会社
-
耕田 浩
住友電気工業株式会社
-
蟹江 智彦
住友電気工業
-
耕田 浩
住友電気工業
-
菅沼 寛
住友電気工業(株)
-
蟹江 智彦
住友電気工業株式会社
-
片山 誠
住友電気工業
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