光スイッチアレイの開発
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概要
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光スイッチは、フォトニックネットワークに必要不可欠なデバイスの一つであり、小型・高集積、高信頼性、低価格などが要求されている。我々は、これらの要求に応えるため平面導波路(PLC)とMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスを組み合わせた光スイッチアレイの開発を行った。16チャンネルの2×2クロス型PLCとマイクロミラーを持ったMEMSデバイスをフリップチップボンディング技術により接合し、500μm間隔で並列した光スイッチアレイを作製した。その結果、msecオーダーの切替時間で自己保持機能を持ち、振動・衝撃に耐えうる高い信頼性を持った光スイッチアレイを、従来の単チャンネルの光スイッチ1個分に相当するサイズで実現することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-09-13
著者
-
片山 誠
住友電気工業株式会社
-
蟹江 智彦
住友電気工業株式会社 光通信研究所
-
須永 隆弘
住友電気工業株式会社
-
耕田 浩
住友電気工業株式会社
-
蟹江 智彦
住友電気工業
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耕田 浩
住友電気工業
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蟹江 智彦
住友電気工業株式会社
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片山 誠
住友電気工業
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