2A1-F04 精密位置決め機構による静電吸着制御型リニアアクチュエータの構成(MEMSとナノテクノロジー)
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概要
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This paper tries demonstrating a parallel linear actuator system providing a large stepping motion based on the concept of electrostatically controlled linear actuator system. A developed system employs a commercialized precision positioning stage as its driving oscillator, while the system used to use a precise piezoactuator. The actuator system provides a large step by using a large stroke of the precise positioning system. Electrodes for the electrostatic clutch mechanism were micromachined on the stage. The silicon slider achieves 50μm - 5mm step motion by using the principle of electrostatically controlled linear actuator system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-06-06
著者
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