MA-SPS 粉末焼結法の LIGA プロセスへの応用
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概要
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Reproduction techniques, like an injection molding or micro-powder injection metallurgy or embossing, are one of the methods which provide microstructures of wide variety of materials and of the production method as a application of LIGA process. Metals and ceramics become of increasing importance to microsystem technology in terms of mechanical properties and physical functions. In this study, we develop a new process using LIGA mold which is able to cast a microstructure of alloys or ceramics using Spark Plasma Sintering (SPS) machine. In addition, the powder of alloys is made by mechanical alloying (MA) method. In this report, a spring structure of Ti-Ni-Cu shape memory alloy was produced by way of trial. As the results, it was found this LIGA-MA-SPS process became effective technique.
- 社団法人日本材料学会の論文
- 2003-07-15
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
飴山 惠
立命館大学理工学部機械工学科
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
宮野 公樹
立命館大学 (院)
-
宮野 公樹
京都大学大学院工学研究科
-
飴山 惠
立命館大学
-
多賀谷 和範
立命館大学院
-
川瀬 和典
立命館大学院
-
川瀬 和典
立命館大学院:(現)住友電工
-
多賀谷 和範
立命館大学院:(現)セイコーエプソン
-
杉山 進
立命館大学
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