PZTバルク/Siダイアフラム構造圧電型圧力センサの構造設計
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2004-05-12
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
田中 克彦
立命館大学
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
小西 隆寛
立命館大学
-
勝田 匡彦
立命館大学
-
久瀬 亘
立命館大学
-
杉山 進
立命館大学
関連論文
- 発電用マイクロレシプロエンジンの設計
- MEMS構造を用いたタングステンシリサイド薄膜の特性評価
- ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を持つポリマーMEMSデバイスの低コスト製作プロセスの研究
- 2P5-4 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ(ポスターセッション)
- 2P5-3 内視鏡手術支援用小型超音波ア***ローブ(ポスターセッション)
- 医療応用のための貫通孔を有する超音波円形プローブ (超音波)
- シリコン歪ゲージを用いた力計測用マイクロセンサ : 力センサの構造設計, 試作, 評価実験
- 1A1-D02 可変焦点ミラーを用いた三次元画像入力システムの試作
- 1J2-2 超音波を用いた土壌水分状態・地下水位の屋外モニタリング(測定技術,映像法,非破壊評価I)
- SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)