半導体ピエゾ抵抗素子のひずみ : 抵抗係数とその結晶方位依存性

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• 立命館大学の論文

著者

• 鳥山 寿之

  立命大理工

• 鳥山 寿之

  立命館大学 理工学部マイクロ機械システム工学科

• 鳥山 寿之

  立命館大

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