電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用
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概要
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- 2011-07-01
著者
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佐藤 敏幸
山形県工業技術センター
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渡部 善幸
山形県工業技術センター
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阿部 泰
山形県工業技術センター
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岩松 新之輔
山形県工業技術センター
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小林 誠也
山形県工業技術センター
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高橋 義行
山形県工業技術センター
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矢作 徹
山形県工業技術センター
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今野 俊介
山形県工業技術センター
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