電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用 (第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 電磁駆動型2軸光走査MEMSミラー動作の磁界依存性
- 近赤外分光用ラミナー型グレーティングの試作と電磁力による可動化
- 近赤外分光用電磁駆動型2軸傾斜MEMSグレーティング
- 近赤外分光用電磁駆動型2軸傾斜MEMSグレーティング
- 電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用
- 電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用 (第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集)
- 電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用