SF_6プラズマを用いた平坦な表面の得られるシリコンの高速等方性ドライエッチング
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 27.流体吸引型能動マイクロカテーテル(平成14年度東北支部大会抄録)
- Si_3N_4 焼結体の機械的特性に関する微構造的研究
- 413 差圧式MEMS流量センサによるHe微小流量の検出および制御(生体医工学)
- 29.形状記憶合金薄膜を用いた血管把持アクチュエータ(平成17年度東北支部大会抄録)
- 血管把持アクチュエータを用いた拍動検出型血栓センサ
- 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発
- SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法
- LiCl-エタノール電解液を用いたNiTi形状記憶合金の電解エッチングにおけるパルス化の効果
- NiTi 形状記憶合金の電解エッチングのための新しい電解液
- 微小組立技術により作製したホール効果型3軸磁気センサ
- パルス電解エッチングによるNiTi形状記憶合金シートの微細加工
- 山形県工業技術センター・マイクロマシン研究開発プロジェクト
- 広角域入射光の自己キャンセル構造を用いたサーミスタボロメータ
- 広角域入射光の自己キャンセル構造を用いたサーミスタボロメータ
- SF_6プラズマを用いた平坦な表面の得られるシリコンの高速等方性ドライエッチング
- ニッケル粉末の焼結による微細孔をもつ多孔体の作製
- 塩酸溶液中の三角波パルス電流エッチングで生ずるアルミニウムのピット形態と表面被膜
- 塩酸/硫酸混合溶液中におけるアルミニウムの交流エッチング
- 共蒸着法によるニッケルフタロシアニン錯体の生成における複合膜の非凝集化の効果
- 形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー : 実験的研究
- ニッケル-フタロシアニン二源同時蒸着膜の構造解析
- 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔のトンネルエッチングにおけるピット成長
- 非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
- 111 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術
- 血管内低侵襲治療のためのマイクロマシン技術 (第6回 知能メカトロニクスワークショップ--人間を支援するメカトロニクス技術) -- (特別セッション マイクロシステム2)
- 高純度アルミニウムの化学研磨による微細綱目組織の表出
- HCl溶液中の交流エッチングで生ずるアルミニウム表面皮膜の検討
- 塩酸溶液中におけるアルミニウムの交流エッチングで生ずるエッチ層の構造
- 塩酸溶液中の矩形波パルス電流エッチングで生ずるアルミニウムのピット形態と表面皮膜
- アルミニウムの交流エッチングにおけるポーラス層の生成におよぼす諸因子の影響
- HCl溶液中の交流エッチングで生ずるアルミニウム表面皮膜の検討
- 塩酸溶液中の三角波交流エッチングによる高純度アルミニウム箔の拡面化におよぼすアノード電流波形の影響
- 高純度アルミニウム箔の塩酸溶液中の三角波交流エッチングによる拡面化におよぼすアノード電流波形の影響
- アルミニウム水和/複合酸化物皮膜の生成と構造
- イオンプレーティング法により作製した窒化チタン皮膜の高温特性
- 高純度アルミニウム箔の塩酸溶液中における交流エッチングで生ずる生成物と拡面倍率
- アルミニウムの電解エッチングにおけるピット発生点
- アルミニウムのトンネルエッチングのその場観察法
- In Situ Observation of Tunnel Etching of Aluminum.
- Effect of sulfate ion on the polarization of aluminum in hydrochloric acid solution.
- Pit morphology of aluminum under anodic rectangular pulse current etching in HCl.
- Duplex structure of surface films formed on aluminum during AC etching in hydrochloric acid solution.