イオンプレーティング法により作製した窒化チタン皮膜の高温特性
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概要
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Oxidation tests of TiN films 2μm thick formed on SKH 51 high-speed steel substrates by reactive ion plating were carried out at 773∼1073K in the atmosphere. The TiN films changed into rutile by oxidization to these temperature. It was found that the reaction followed the parabolic rule, and the parabolic rate constant K was dependent on heating temperature T according toK=1.1×1010exp(-2.2×104/T)μ2/h.Film hardness and critical load in scratch tests both showed a slight increase with heating but eventually decrease with increasing heating temperature and time. This was due to the formation of a layer of low-hardness TiO2.
- 社団法人 表面技術協会の論文
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