413 差圧式MEMS流量センサによるHe微小流量の検出および制御(生体医工学)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-27
著者
-
牧野 英司
弘前大学 大学院理工学研究科
-
峯田 貴
弘前大学 大学院理工学研究科
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峯田 貴
弘前大学理工学部
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酒井 嶺太
弘前大学理工
-
松森 仁明
弘前大学理工
-
尾崎 真寿
弘前大学理工
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牧野 英司
弘前大学理工
-
牧野 英司
弘前大
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