異方性エッチングを用いた生体電位計測のための多層構造型マイクロプローブの開発
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概要
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This paper focuses on a development of a cortical signal recording system to analyze an information processing system in a brain, and describes a fabricated microprobe using techniques of the microfabrication for realizing a multi-site recording. In order to identify the brain system, the multi-site and simultaneous recording is required. However, the property of the invasiveness leads to miniaturizing such a device. Therefore, the multi-site microprobe was fabricated by applying a multilayer structure of electrical circuits. Moreover, the anisotropic etching was applied in order to simplify the fabrication process. And the electrical property of this microprobe was described.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2002-09-05
著者
-
嘉数 侑昇
北海道大学
-
牧野 英司
弘前大学 大学院理工学研究科
-
横井 浩史
東京大学 大学院工学系研究科
-
横井 浩史
北海道大学工学部
-
横井 浩史
北海道大学
-
牧野 英司
弘前大学理工
-
川島 貴弘
北海道大学
-
柴田 隆行
茨城大学工学部
-
牧野 英司
弘前大
-
嘉数 侑昇
北海道情報大学
-
嘉数 侑昇
北海道大学大学院工学研究科システム情報工学専攻
-
川島 貴弘
豊橋技術科学大学
-
横井 浩史
電通大 大学院
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