圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-09-01
著者
-
嶋田 志郎
北海道大学大学院工学研究科物質工学専攻
-
牧野 英司
北海道大学工学部
-
嶋田 志郎
北海道大学
-
海野 和也
北海道大学大学院工学研究科
-
柴田 隆行
北海道大学大学院工学研究科
-
池田 正幸
北海道大学工学研究科
-
伊藤 圭穂
北海道大学工学研究科
-
海野 和也
日立ビアメカニクス(株)
-
牧野 英司
弘前大
-
海野 和也
日立ビアメカニクス
-
嶋田 志郎
北海道大学大学院工学研究科物質化学専攻
-
池田 正幸
北大
-
池田 正幸
北海道大学
関連論文
- 複合ペロブスカイトSr(Ga_Ta_)O_3のA-サイトイオン置換に伴う結晶構造と誘電特性の変化
- 熱プラズマCVD法によるTiBC, TiBN, SiNx単層膜とTiBC-SiNxとTiBN-SiNx二層膜の作製とその耐摩耗性評価
- ホウ酸トリエチルを添加したフェノール樹脂-オルトケイ酸テトラエチル複合体からの炭化ケイ素の生成機構
- 雰囲気制御熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの新規セラミックスコーティングと耐摩耗性
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- 第37回熱測定討論会
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- 亜鉛滓を用いたZn-Mn-Al-O系スピネル固溶体の作製とNTC特性
- フェノール樹脂-アルコキシドハイブリッド前駆体の熱分解によるSiC-TiC複合粉末の合成
- 溶液噴霧プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの組成傾斜TiN-AINとTiN-SiN_x膜の作製(セラミックスインテグレーション)
- ホットプレス法で作製した(Ti_>0.50.5
- アコースティック・エミッション法の熱分析への応用
- 単結晶炭化物(HfC, ZrC, TiC)の酸化による界面でのカーボン析出とその評価
- 熱炭素還元β-SiAlON酸化と機械的挙動
- AFMセンサのための圧電薄膜の形成
- 圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
- 形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータ
- マイクロファブリケーション概論
- シリコンの固相接合とマイクロポンプ用一方向弁の形成
- 直接接合と陽極接合
- 亜テルル酸リチウムの熱分析的挙動
- 単結晶シリコン超精密切削面の微視的構造
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第1報) : スクライビングによるクラックの発生・成長機構
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第1報) : 溶接における基礎現象の測定
- 大出力レーザ溶接に関する基礎研究 -溶接における基礎現象の測定-
- RFプラズマCVD法により生成された炭素系薄膜の諸特性
- レーザ加工技術オーガナイズドセッションキーノート 基礎現象理解の重要性
- レーザ光で拓く21世紀への扉
- 溶射膜に対するYAGレーザ吸収率の評価
- レーザ加工技術 発表論文の傾向と今後の研究課題
- 電気化学的手法を用いた酸化ジルコニウムゲルの作製
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第2報) : 溶接モデルへの一手法
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第二報) -溶接特性のモデル化への一手法-
- 雰囲気制御熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの新規セラミックスコーティングと耐摩耗性
- ブラックシリカ鉱石からのβ-SiCウイスカーの合成
- レーザを用いた表面処理-レーザプレーティングとレーザエッチング-
- 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔のトンネルエッチングにおけるピット成長
- ファインセラミックスのフォトエッチング : 高温りん酸によるエッチング
- バイポーラ接続方式による電解ターニング
- ニッケル基超合金の電解加工における熱処理の影響
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : NaNO_3水溶液中における溶解挙動に及ぼすコバルト, モリブデン成分の影響
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : NaNO_3水溶液中における二次不働態化挙動
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr合金のアノード溶解特性
- 電解加工液の研究 : 加工液の性能評価基準について
- ArFエキシマレーザによる水晶ウエハの化学的アブレーション加工 : 高精度発振周波数制御の可能性の検討
- TiO_2-Ni複号粉末を用いたアルミニウム表面のCO_2レーザアロイング-合金化層の耐摩耗性-
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第2報) : CO_2レーザ光照射条件の検討
- TiO_2-Ni複合粉末を用いたレーザアロイングによるアルミニウムの表面改質
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス張薄膜の形成
- MBE装置を用いたナノメータ金属膜の形成
- TiO_2 粉末を用いたレーザアロイングによるアルミニウムの表面改質
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス超薄膜の形成(第2報) -成膜機構の検討-
- 積層薄膜アクチュエータの研究 -組成精密制御の検討-
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス超薄膜の形成
- CO_2レーザを用いたアルミニウムの表面合金化(第5報)-粉末塗布層厚さが組織, 構造におよぼす影響-
- 圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMセンサの開発 : PZT薄膜の形成とパターニング
- ダイヤモンドAFMプローブのマイクロマシニング
- ダイヤモンド薄膜のマイクロマシニングによる微小構造体の形成
- ダイヤモンド薄膜の表面マイクロマシニング
- Smart Nano-Machining Systemの開発 -ダイヤモンド探針の作成と評価-
- 鋼単結晶の超精密切削における微小変形挙動の原子論的解析
- シリカブラック鉱石からの太いα-Si_3N_4ウイスカーの調整
- レ-ザ-溶接に関する研究-レ-ザ-切断面の溶接特性-
- 窒化物・炭化物材料作製の新しいプロセス開発と高機能化への展開
- 生体電位計測のための積層構造型マイクロプローブの作製
- バルーン状スピネルフェライトの作製と表面組織の制御
- 塗布法によるLITaO_3薄膜の作製とその性質(3. 液相反応法)(新技術によるセラミックスの合成と評価(II))
- 現代学生気質と熱分析
- パラジウム薄膜パターンのレーザ描画における基板材料および酢酸パラジウム塗布膜厚の影響
- 酢酸パラジウムのレーザ焼成による配線用薄膜の形成
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力分布計測用マイクロセンサの作製とその特性解析
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力測定のためのマイクロセンサの開発
- TiNi合金薄膜アクチュエータの動的形状回復特性
- 3インチ水晶ウエハのポリシング加工精度の研究
- 変形破壊挙動に基づくぜい性材料の延性モード切削機構
- レーザ無電解ニッケルめっきによるポリイミド基板上のマスクレスパターン形成
- レーザプレーティングの析出速度に関するめっき液流動の影響
- ファインセラミックスのフォトエッチングのための高温リン酸エッチャントの組成制御
- 酸化すず薄膜のCVDにおける紫外光照射の効果
- マイクロアクチュエータ形成のための形状記憶合金圧延シート材の電解フォトエッチング
- カーボン生成を伴う単結晶炭化物の酸化と機構
- 超精密切削機構の原子論的アプローチ-すべり変形の制御-
- ポリアクリル酸によって感受性化したポリイミド上の無電解ニッケルレーザプレーティング
- 銅単結晶の超精密切削における加工変質層の結晶学的解析
- レーザプレイティングによる金のライン状パターンの形成
- セラミックスのフォトエッチングのための環化ポリブタジエンレジスト膜の形成条件
- 高温リン酸によるファインセラミックスのフォトエッチングのためのポリイミドレジスト
- 単結晶シリコン超精密切削における延性/ぜい性遷移機構
- 単結晶シリコン超精密切削における微小変形挙動の結晶方位依存性
- 分子動力学法によるナノ切削挙動の原子論的解析
- 形状記憶合金薄膜アクチェータを用いたマイクロポンプの作製
- マイクロファブリケーション
- 金有機化合物のレーザー熱分解によるグレーズドアルミナ基板上の配線パターン形成
- 電解フォトエッチングによる金属基板上の微細パターン形成
- 雰囲気制御熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの新規セラミックコーティングと耐摩耗性
- 薄膜の非破壊的付着強度評価法
- アルミニウムのトンネルエッチングのその場観察法
- In Situ Observation of Tunnel Etching of Aluminum.
- レ-ザプレ-ティングによる金の微細パタ-ンの形成