塗布法によるLITaO_3薄膜の作製とその性質(3. 液相反応法)(<特集>新技術によるセラミックスの合成と評価(II))
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1987-02-01
著者
-
嶋田 志郎
北海道大学大学院工学研究科物質工学専攻
-
嶋田 志郎
北大院工
-
嶋田 志郎
北海道大学工学部応用化学科
-
嶋田 志郎
北海道大学
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小平 紘平
北海道大学大学院工学研究科
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北海道大学工学部応用化学科
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東京エレクトロン(株)
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古崎 毅
北海道大学工学部応用化学科
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松下 徹
熊本工業大学工学部工業化学科
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小平 紘平
北海道大学工学部応用化学科
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古崎 毅
苫小牧工業高等専門学校工業化学科
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松下 徹
熊本工業大学電気工学科
-
松下 徹
熊本工業大学
-
小平 紘平
北海道大学
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