ダイヤモンド薄膜のマイクロマシニングによる微小構造体の形成
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
牧野 英司
北海道大学工学部
-
海野 和也
北海道大学大学院工学研究科
-
柴田 隆行
北海道大学大学院工学研究科
-
池田 正幸
北海道大学工学研究科
-
海野 和也
日立ビアメカニクス(株)
-
牧野 英司
弘前大
-
海野 和也
日立ビアメカニクス
-
池田 正幸
北大
-
北本 泰貴
北海道大学大学院工学研究科
-
池田 正幸
北海道大学
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