形状記憶合金薄膜アクチェータを用いたマイクロポンプの作製
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
牧野 英司
北海道大学工学部
-
柴田 隆行
北海道大学大学院工学研究科
-
牧野 英司
弘前大
-
井加田 剛志
北大院工
-
三ツ谷 隆
北海道大学工学研究科
-
井加田 剛志
北海道大学大学院工学研究科
-
三ツ谷 隆
北海道大学大学院工学研究科
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