セルカルチャーのための圧電駆動型マイクロ細胞培養チップの開発(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
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概要
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In order to develop a bio-microdevice actuated by piezoelectric thin film for cell culture, we fabricated lead zirconate titanate (PZT) thin film to be used as an actuator and characterized its crystallographic structure by X-ray diffraction analysis. The PZT thin film was fabricated by a sol-gel method using a precursor solution with excess lead content. When pyrolysis at 300℃ for 10 min and then annealed at 600℃ for 1 min in air, PZT thin films with (111) orientation were obtained. In addition, PZT thin films before annealed were successfully patterned in a HCl solution using a positive thick photoresist as an etching mask.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-23
著者
-
増澤 徹
茨城大学
-
牧野 英司
弘前大学 大学院理工学研究科
-
岸田 晶夫
国立循環器病センター研究所生体工学部
-
岸田 晶夫
東京医科歯科大学
-
岸田 晶夫
国立循環器病センター研究所
-
柴田 隆行
茨城大学
-
蒔田 喜之
茨大院
-
柴田 隆行
茨城大学工学部
-
増澤 徹
茨城大・工
-
牧野 英司
弘前大
-
柴田 隆行
茨城大
-
増澤 徹
茨城大
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