305 Ti・ステンレス基材に対するSi中間層を用いたDLC膜の密着性の研究(ライフサポートにおける工学技術,オーガナイズドセッション)
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概要
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In this paper, a-Si inner layer has been proposed to improve the adhesion of DLC (diamond-like carbon) films to SUS, Ti and TiNi substrate. The Si inner layer was coated on SUS316L, Ti and TiNi substrates using radio frequency (RF) magnetron sputtering, and then the DLC film was coated on the Si coated substrate using radio frequency plasma enhanced chemical deposition (CVD). To investigate the characteristic of the inner Si layer, XRD spectra and the contact angle of aqua distillate droplet were measured. The wear of DLC film was measured using ball-on disc test. The results showed the Si inner layer was effective to improve the adhesion of the DLC film.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-12
著者
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