人工弁閉鎖位置近傍における圧力分布計測用マイクロセンサの作製とその特性解析
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概要
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人工弁閉鎖位置近傍の圧力分布を高い空間分解能で計測することができ, キャビテーションによる機械式人工弁の表面壊食現象を解明するために必要とされている.本研究では, この圧力分布を調べるためのマイクロセンサを有限要素法に基づき設計し, マイクロマシニング技術を応用することにより, 試作を行った.試作したセンサは受圧部が250μm角であり, 約-700〜1100mmHgの圧力範囲を測定することが可能であった.これらの結果, 構造的には, ほぼ設計値どおりのセンサ作製ができることを実験的に明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-15
著者
-
清水 孝一
北海道大学
-
牧野 英司
北海道大学工学部
-
柴田 隆行
北海道大学大学院工学研究科
-
池田 正幸
北海道大学工学研究科
-
下岡 聡行
埼玉医科大学保健医療学部
-
下岡 聡行
北海道大学
-
牧野 英司
弘前大
-
池田 正幸
北大
-
池田 正幸
北海道大学
-
小谷 康二郎
北海道大学大学院工学研究科
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