シリコンの固相接合とマイクロポンプ用一方向弁の形成
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr-Al合金の溶解挙動によるγ'相の影響の検討
- C11 マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細パターニング技術の開発 : 微細めっきパターン形成のための基礎的検討(OS-12 ナノ加工と表面機能(3))
- 413 差圧式MEMS流量センサによるHe微小流量の検出および制御(生体医工学)
- TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響
- 260 細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発(OS2-2 最先端加工技術の基礎と応用(2),OS2 最先端加工技術の基礎と応用)
- 細胞サージェリーのためのマイクロニードルアレイの開発
- 29.形状記憶合金薄膜を用いた血管把持アクチュエータ(平成17年度東北支部大会抄録)
- オンチップ電気化学プロセスのための微小電極パターンのマイクロマシニング
- 血管把持アクチュエータを用いた拍動検出型血栓センサ
- 3次元マイクロファブリケーション
- AFMセンサのための圧電薄膜の形成
- 圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
- T1601-1-4 原子間力顕微鏡に用いる近接構造のシリコンデュアルプローブの形成と動作評価(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
- 高精度ブラスト加工による微細パターンの形成とバイオチップへの応用(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
- セルカルチャーのための圧電駆動型マイクロ細胞培養チップの開発(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
- 715 液晶アクティブマスクを用いた DNA チップ合成システムの開発
- 異方性エッチングを用いた生体電位計測のための多層構造型マイクロプローブの開発
- ダイヤモンドMEMS
- ダイヤモンドAFMプローブの形成プロセスと評価
- 圧電センサ・アクチュエータ搭載ダイヤモンドAFMプローブの形成
- 形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータ
- マイクロファブリケーション概論
- シリコンの固相接合とマイクロポンプ用一方向弁の形成
- 直接接合と陽極接合
- S0303-3-2 熱収縮連結機構をもつ形状記憶合金チューブ型屈曲アクチュエータの一括形成(形状記憶合金の特性と応用展開(3))
- 単結晶シリコン超精密切削面の微視的構造
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第1報) : スクライビングによるクラックの発生・成長機構
- RFプラズマCVD法により生成された炭素系薄膜の諸特性
- 形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈拍動センサー : 実験的研究
- レーザを用いた表面処理-レーザプレーティングとレーザエッチング-
- 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔のトンネルエッチングにおけるピット成長
- ファインセラミックスのフォトエッチング : 高温りん酸によるエッチング
- バイポーラ接続方式による電解ターニング
- ニッケル基超合金の電解加工における熱処理の影響
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : NaNO_3水溶液中における溶解挙動に及ぼすコバルト, モリブデン成分の影響
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : NaNO_3水溶液中における二次不働態化挙動
- ニッケル基超合金の電解加工の研究 : Ni-Cr合金のアノード溶解特性
- 電解加工液の研究 : 加工液の性能評価基準について
- ArFエキシマレーザによる水晶ウエハの化学的アブレーション加工 : 高精度発振周波数制御の可能性の検討
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第2報) : CO_2レーザ光照射条件の検討
- TiO_2 粉末を用いたレーザアロイングによるアルミニウムの表面改質
- 積層薄膜アクチュエータの研究 -組成精密制御の検討-
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス超薄膜の形成
- TiO_2/Ni複合粉末を用いたアルミニウム表面のレーザアロイング
- CO_2レーザを用いたアルミニウムの表面合金化(第5報)-粉末塗布層厚さが組織, 構造におよぼす影響-
- 圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMセンサの開発 : PZT薄膜の形成とパターニング
- ダイヤモンドAFMプローブのマイクロマシニング
- ダイヤモンド薄膜のマイクロマシニングによる微小構造体の形成
- ダイヤモンド薄膜の表面マイクロマシニング
- Smart Nano-Machining Systemの開発 -ダイヤモンド探針の作成と評価-
- 鋼単結晶の超精密切削における微小変形挙動の原子論的解析
- 生体電位計測のための積層構造型マイクロプローブの作製
- パラジウム薄膜パターンのレーザ描画における基板材料および酢酸パラジウム塗布膜厚の影響
- 酢酸パラジウムのレーザ焼成による配線用薄膜の形成
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力分布計測用マイクロセンサの作製とその特性解析
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力測定のためのマイクロセンサの開発
- TiNi合金薄膜アクチュエータの動的形状回復特性
- 3インチ水晶ウエハのポリシング加工精度の研究
- 変形破壊挙動に基づくぜい性材料の延性モード切削機構
- レーザ無電解ニッケルめっきによるポリイミド基板上のマスクレスパターン形成
- レーザプレーティングの析出速度に関するめっき液流動の影響
- ファインセラミックスのフォトエッチングのための高温リン酸エッチャントの組成制御
- 酸化すず薄膜のCVDにおける紫外光照射の効果
- 感光性エポキシ樹脂SU-8表面の濡れにおよぼす微細凹凸形状とプラズマ改質の影響
- マイクロアクチュエータ形成のための形状記憶合金圧延シート材の電解フォトエッチング
- 超精密切削機構の原子論的アプローチ-すべり変形の制御-
- ポリアクリル酸によって感受性化したポリイミド上の無電解ニッケルレーザプレーティング
- 銅単結晶の超精密切削における加工変質層の結晶学的解析
- レーザプレイティングによる金のライン状パターンの形成
- セラミックスのフォトエッチングのための環化ポリブタジエンレジスト膜の形成条件
- 高温リン酸によるファインセラミックスのフォトエッチングのためのポリイミドレジスト
- 単結晶シリコン超精密切削における延性/ぜい性遷移機構
- 単結晶シリコン超精密切削における微小変形挙動の結晶方位依存性
- 分子動力学法によるナノ切削挙動の原子論的解析
- 440 形状記憶合金の厚膜形成と機能複合化による医用メカニカルセンサへの応用(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 形状記憶合金薄膜アクチェータを用いたマイクロポンプの作製
- マイクロファブリケーション
- 金有機化合物のレーザー熱分解によるグレーズドアルミナ基板上の配線パターン形成
- 電解フォトエッチングによる金属基板上の微細パターン形成
- 薄膜の非破壊的付着強度評価法
- アルミニウムのトンネルエッチングのその場観察法
- In Situ Observation of Tunnel Etching of Aluminum.
- レ-ザプレ-ティングによる金の微細パタ-ンの形成