圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMセンサの開発 : PZT薄膜の形成とパターニング
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概要
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- 2000-03-01
著者
-
牧野 英司
北海道大学工学部
-
海野 和也
北海道大学大学院工学研究科
-
柴田 隆行
北海道大学大学院工学研究科
-
海野 和也
日立ビアメカニクス(株)
-
牧野 英司
弘前大
-
海野 和也
日立ビアメカニクス
-
中辻 多恵
北海道大学大学院工学研究科
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