海野 和也 | 北海道大学大学院工学研究科
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概要
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小林 直樹
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小林 直樹
北海道大学
著作論文
- AFMセンサのための圧電薄膜の形成
- 圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
- 圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMセンサの開発 : PZT薄膜の形成とパターニング
- ダイヤモンドAFMプローブのマイクロマシニング
- ダイヤモンド薄膜のマイクロマシニングによる微小構造体の形成
- ダイヤモンド薄膜の表面マイクロマシニング
- Smart Nano-Machining Systemの開発 -ダイヤモンド探針の作成と評価-
- 鋼単結晶の超精密切削における微小変形挙動の原子論的解析