MBE装置を用いたナノメータ金属膜の形成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The new functional materials have been studied to apply to micro machines or electronic devices. However in order to develop new materials, it is indispensable to control the film thickness of nano-meter or sub-nanometer and to deposit the fine film of the same roughness as substrate surface. This paper describes the experimental results, the possibility to fabricate metal films of nanometer order thickness and to synthesize new materials of multilayer structure using the Knudsen-cell in the high vacuum MBE chamber. The structure of the films was analyzed by X-ray diffraction.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1999-10-05
著者
-
池田 正幸
北海道大学工学研究科
-
田中 岳
北海道大学大学院工学研究科
-
高橋 義美
北海道大学工学部
-
高橋 義美
北海道大学大学院工学研究科
-
池田 正幸
北大
-
鈴木 寿
北海道大学工学部
-
池田 正幸
北海道大学
-
田中 岳
北海道大学工学研究科:(現)(株)島津製作所
-
田中 岳
北海道大学工学部工学研究科環境資源工学専攻
-
田中 岳
北海道大学大学院 工学研究科
-
高橋 義実
北海道大学工学研究科
-
田中 岳
北海道大学
関連論文
- 圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
- 河道モデルと沿岸流動モデルの統合とその必要性に関する検討
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第1報) : スクライビングによるクラックの発生・成長機構
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第1報) : 溶接における基礎現象の測定
- 大出力レーザ溶接に関する基礎研究 -溶接における基礎現象の測定-
- レーザ加工技術オーガナイズドセッションキーノート 基礎現象理解の重要性
- YAGレーザ光照射によるアルミニウムの表面合金化処理 -セラミックス層被覆の効果-
- レーザ光で拓く21世紀への扉
- 溶射膜に対するYAGレーザ吸収率の評価
- レーザ加工技術 発表論文の傾向と今後の研究課題
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第2報) : 溶接モデルへの一手法
- 大出力レーザ溶接に関する研究(第二報) -溶接特性のモデル化への一手法-
- モーメント法による流出モデルのパラメータの同定とKinematic Wave式に基づくパラメータの評価
- 等価周波数応答法に基づくKinematic waveモデルの集中化に関する基礎的研究
- ArFエキシマレーザによる水晶ウエハの化学的アブレーション加工 : 高精度発振周波数制御の可能性の検討
- TiO_2-Ni複号粉末を用いたアルミニウム表面のCO_2レーザアロイング-合金化層の耐摩耗性-
- 板ガラスのレーザブレーキングに関する研究(第2報) : CO_2レーザ光照射条件の検討
- TiO_2-Ni複合粉末を用いたレーザアロイングによるアルミニウムの表面改質
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス張薄膜の形成
- MBE装置を用いたナノメータ金属膜の形成
- TiO_2 粉末を用いたレーザアロイングによるアルミニウムの表面改質
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス超薄膜の形成(第2報) -成膜機構の検討-
- 積層薄膜アクチュエータの研究 -組成精密制御の検討-
- CO_2レーザ照射によるアルミニウムの表面合金化処理
- ArFエキシマレーザアブレーション法によるセラミックス超薄膜の形成
- TiO_2/Ni複合粉末を用いたアルミニウム表面のレーザアロイング
- CO_2レーザを用いたアルミニウムの表面合金化(第5報)-粉末塗布層厚さが組織, 構造におよぼす影響-
- ダイヤモンド薄膜のマイクロマシニングによる微小構造体の形成
- ダイヤモンド薄膜の表面マイクロマシニング
- Smart Nano-Machining Systemの開発 -ダイヤモンド探針の作成と評価-
- 鋼単結晶の超精密切削における微小変形挙動の原子論的解析
- レ-ザ-溶接に関する研究-レ-ザ-切断面の溶接特性-
- レーザビーム伝送制御システムの開発
- 水晶複合板の高精度ポリシングの研究
- ポリシングパッドの粘弾性とポリシング機構の解析
- 水晶のコロイダルセリウムによるポリシング実験(第二報)-ポリシングおよびエッチング表面の解析-
- Kinematic Wave モデルと貯留型流出モデルの比較 -周波数特性と確率特性-
- 酢酸パラジウムのレーザ焼成による配線用薄膜の形成
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力分布計測用マイクロセンサの作製とその特性解析
- レーザ加工の現状と将来動向(レーザによる精密加工の最前線)
- 人工弁閉鎖位置近傍における圧力測定のためのマイクロセンサの開発
- CW-YAGレーザによる軟鋼の溶接特性
- TiNi合金薄膜アクチュエータの動的形状回復特性
- 高エネルギービームによる溶接特性(第3報) : 炭酸ガスレーザによるアルミニウムの溶込み形成
- 3インチ水晶ウエハのポリシング加工精度の研究
- 高エネルギービームによる溶接特性(第2報) : 大出力炭酸ガスレーザによる鉄鋼材料の溶込み形成
- 高エネルギービームによる溶接特性(第1報) : 電子ビームによる各種金属の溶込み形成
- 高エネルギービームによる溶接特性(第3報) -炭酸ガスレーザによるアルミニウムの溶込み形成-
- 高エネルギービームによる溶接特性(第2報) -大出力炭酸ガスレーザによる鉄鋼材料の溶込み形成-
- 高エネルギービームによる溶接特性(第1報) -電子ビームによる各種金属の溶込み形成-
- 変形破壊挙動に基づくぜい性材料の延性モード切削機構
- 水晶コロイダルセリウムによるポッリシング実験
- レーザプレーティングの析出速度に関するめっき液流動の影響
- 透過レーザビームのさえぎり量測定によるスピンドル熱変位の3成分同時評価
- 酸化すず薄膜のCVDにおける紫外光照射の効果
- Introductory Talk -レーザ加工技術の現状と課題-
- 教育として研究成果から伝えるべきもの
- 超精密切削機構の原子論的アプローチ-すべり変形の制御-
- ポリアクリル酸によって感受性化したポリイミド上の無電解ニッケルレーザプレーティング
- 銅単結晶の超精密切削における加工変質層の結晶学的解析
- レーザプレイティングによる金のライン状パターンの形成
- 橋の構造を題材とした初等国語科目および総合科目での教育実践とその効果 : 感想文とビデオ分析のなかから(【一般A-11】初等・中等教育(2),一般研究発表【A】,発表要旨)
- 小学校児童を対象とした防災教育の実践事例(【一般A-11】初等・中等教育(a),一般研究発表【A】,発表要旨)
- 薄膜の非破壊的付着強度評価法
- アルミニウムのトンネルエッチングのその場観察法
- In Situ Observation of Tunnel Etching of Aluminum.
- レ-ザプレ-ティングによる金の微細パタ-ンの形成
- 土木工学の基礎としての専門教育科目「水理学演習」の実践(【一般A-12】中等後教育・高等教育(a),一般研究発表【A】,発表要旨)