806 共振駆動スプール弁を用いた圧電マイクロポンプ(流体パワーによる駆動と制御)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2004-10-23

著者

• 横田 眞一

  東工大精研

• 吉田 和弘

  東工大精研

• 渡温 幸太郎

  東工大院

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