多孔質シリコンの可視発光 : 研究の現状と技術的可能性
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概要
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単結晶シリコンをHF溶液中で定電流陽極酸化するさい,中電流領域では多孔質シリコン(PS)と呼ばれるスポンジ状のシリコン結晶層が形成される。本報告では,PSが示す可視発光に関する研究の現状をまとめる。まず,フォトルミネセンス(PL)の基本特性および発光機構に関連した光物性(バンドギャップ,電子構造,電気伝導,光導電,電界とPLとの相互作用など)を整理する。次に固体接合PSダイオードのエレクトロルミネセンス(EL)の特性を,発光効率,発光色の制御性,時間応答などの面から検討し,ディスプレイや光電子集積などへの応用の可能性について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-07-25
著者
-
越田 信義
東京農工大学大学院 ナノ未来科学研究拠点
-
須田 良幸
東京農工大学大学院工学府
-
須田 良幸
東京農工大学
-
須田 良幸
東京農工大学大学院 工学府
-
小山 英樹
東京農工大学工学部電子情報工学科
-
尾崎 剛
東京農工大学工学部電子情報工学科
-
荒木 実
東京農工大学工学部電子情報工学科
-
小黒 剛
東京農工大学工学部電子情報工学科
-
小山 英樹
東京農工大 工
-
越田 信義
東京農工大 大学院
-
越田 信義
東京農工大大学院
-
Koshida Nobuyoshi
Division Of Electronic And Information Engineering Faculty Of Technology Tokyo University Of Agricul
-
Koshida N
Tokyo Univ. Agriculture And Technol. Tokyo Jpn
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