03aB07 ナノシリコンテクノロジーによる光・電子・音響機能集積(光・電子集積回路(OEIC)時代をひらく結晶成長技術,ナノ・エピ分科会シンポジウム,第36回結晶成長国内会議)
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概要
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The present status of development of nanosilicon devices is addressed in terms of visible electroluminescent device, photonic components, ballistic electron emitter, and thermally induced ultrasonic emitter. Further technological potential is discussed toward monolithic functional integration.
- 2006-11-01
著者
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