EID2000-12 多孔質多結晶Siを用いた弾道電子型冷陰極の電子放出特性とPL特性
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概要
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フラットパネルディスプレイへの応用が可能である、多孔質多結晶Siを用いた新しい原理の冷陰極を提案した。この冷陰極は、Si基板上に堆積した多結晶Siを弗酸とエチルアルコールとの混合液で陽極酸化した後、急速熱酸化によってナノクリスタルSiの表面を酸化し、その後表面電極を形成することによって作製される。本稿では、この電界放出型冷陰極がフラットパネルディスプレイの実用化に極めて優れた特性をもつことを示した。さらに、この冷陰極の電子放出のメカニズムを考察し、それが疑似弾道的な電子放出現象であること、また、電子放出特性とフォトルミネッセンス特性との相関を調べ、疑似弾道的な電子放出にはナノクリスタルSiの存在が必須であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-16
著者
-
櫟原 勉
松下電工株式会社 ウェル・ラボ
-
越田 信義
東京農工大学大学院 ナノ未来科学研究拠点
-
菰田 卓哉
松下電工株式会社先行技術開発研究所
-
菰田 卓哉
松下電工株式会社 先行・融合技術研究所
-
越田 信義
東京農工大 大学院
-
越田 信義
東京農工大大学院
-
Koshida Nobuyoshi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Technology Tokyo University Of Agricu
-
Koshida Nobuyoshi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Koshida Nobuyoshi
Division Of Electronic And Information Engineering Faculty Of Technology Tokyo University Of Agricul
-
Koshida N
Tokyo Univ. Agriculture And Technol. Tokyo Jpn
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