EOSによるリングオシレータの評価

概要

論文の詳細を見る
電気光学サンプリング(Electro-optic sampling:EOS)は、超高速デバイスのキャラクタライズや集積回路(IC)の故障診断をはじめ、超高速半導体エレクトロニクスを支える計測・テスト技術として不可欠なものとなりつつある。これまでに報告されているEOSを用いたIC計測では、既知の一定クロック周波数で動作するICに対象が限られ、リングオシレータなど任意周波数でフリーラン動作する回路の評価はできなかった。リンダオシレータは、基本ゲートの遅延を評価するための最も一般的な回路であるが、回路が正常に動作していなくても発振が起こることがあるため、誤った遅延時間を与える危険性を含んでいる。したがって、リングオシレータの内部波形を観測して各ゲートが正常に動作していることを確認することは極めて重要である。今回、外部からのトリガ信号で動作するタイムベースと光パルス発生器を開発し、リングオシレータの内部波形をEOSによりはじめて観測することに成功した。また、リングオシレータを利用して、EOS測定が回路に与える影響についても検討を行った。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-03-11