GHz帯LSl内部波形計測用EOマイクロプローブの開発
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概要
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高速高集積LSIの内部ノード波形を計測するために電気光学効果とレーザ光を利用したコンパクトで安価な接触型のEOマイクロプローブシステムを開発したので報告する。本システムは2μm以下の空間分解能と4.5GHzの測定帯域を有する。FIBにより微細配線上に観測パッドを形成することで、サブミクロン配線上のGHz電気信号を高精度に測定可能となった。本EOマイクロプローブをGHz帯で動作する通信用LSI内部ノードの波形評価に適用し、本プローブの有用性を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-20
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