超高速EOSウエハプローバによる集積回路内部診断
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概要
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超高速集積回路の内部波形診断のために、外部EOS技術を用いてオートウエハプローバを開発した。ワークステーションによるシステム全体のリモート制御、ユーザインターフェースソフトウェア、オートEOプローブポジショナ、差動検出型EOSモジュールにより、ユーザビリティの向上と測定の高精度化を図った。その結果、システム性能として帯域70GHz、最小検出電圧1mV【square root】Hz、空間分解能2μmが得られた。実際に10-20Gbit, sで動作するGaAs集積回路の内部波形診断に適用し、本プローバの有効性を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-16
著者
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