EOサンプリングにおけるS/N自動調整ユニット
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概要
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EOサンプリング(Electro-Optic Sampling)は、超高速のデバイス,IC,ボードの試験診断ツールとして注目されている。これまで我々のグループではウエハプローバ[1]やペン型プローブ[2]を開発してきた。これらのシステムでは手動で波長板を回転して光学的バイアスを変え、S/Nを最適化していた。しかし、波長板のわずかな回転量でS/Nが敏感に変化するため、調整が非常に困難であった。また、測定環境の変化や振動により光学的バイアスが変わり(図1)、何度も調整する必要があった。本報告では、この問題を解決するために自動でS/Nを調整するユニットを試作し、実際にウエハプローバで有効性を確認したことについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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