DFBレーザアレイの発振波長精密制御
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概要
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光波ネットワークでは、光源の波長精密制御が重要となり、デバイス作製においては高均一、高制御プロセスが要求される。我々はこれまでに、高均一MOVPE成長を用いて2インチウェハ上に作製したMQW-LDの良好かつ高均一な特性を実証している。今回、この高均一MOVPE成長とEB露光グレーティングを組み合わせて多波長λ/4DEF-LDアレイを作製し、発振波長制御精度について検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
室谷 義治
NECエレクトロニクス株式会社化合物デバイス事業部
-
中村 隆宏
NECシステムデバイス研究所
-
室谷 義治
NEC 関西エレクトロニクス研究所
-
鳥飼 俊敬
NEC関西エレクトロニクス研究所
-
山田 博仁
NEC 関西エレクトロニクス研究所
-
鳥飼 俊敬
NEC 関西エレクトロニクス研究所
-
中村 隆宏
NEC 関西エレクトロニクス研究所
-
宇治 俊男
NEC 関西エレクトロニクス研究所
-
山田 博仁
NEC(株)関西エレクトロニクス研究所
-
宇治 俊男
Nec 関西エレクトロニクス研
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