YBCOマイクロストリップ共振器およびフィルタの電力依存性に及ぼす薄膜微細構造の影響

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概要

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MgO基板の両面に形成されたYBCO薄膜を用いてマイクロストリップ共振器(5.7GHz)を作製し、薄膜の微細構造とマイクロ波電力依存性の関係を調べた。表面抵抗Rsや共振周波数f_0の電力依存性は、薄膜の結晶粒構造と関連した臨界電流密度Jcの大きさに強い影響を受けた。結晶粒径が小さく(〜100nm、Jcの高い薄膜では、Rsやf_0の電力依存性は小さかった。一方、結晶粒径の大きな(〜200nm)薄膜は低いJcを示し、また、顕著な電力依存性が観察された。弱結合モデルに基づいた定性的な考察によって、YBCO薄膜の電力依存性は結晶粒界のカップリングの強さに影響されることがわかった。また、この両面薄膜を用いたバンドパスフィルタ(9.5GHz)は非常に小さい挿入損失を示した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-04-26

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