走査型トンネル顕微鏡を用いた二次元不純物分布計測
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概要
著者
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西澤 正泰
半導体MIRAI産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
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金山 敏彦
産総研次世代半導体
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西澤 正泰
半導体miraiプロジェクト 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
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金山 敏彦
半導体MIRAIプロジェクト, 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
-
BOLOTOV Leonid
半導体MIRAIプロジェクト, 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
-
Bolotov L.
アトムテクノロジー研究体-オングストロームテクノロジー研究機構
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Bolotov Leonid
半導体miraiプロジェクト 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
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BOLOTOV Leonid
アトムテクノロジー研究体-オングストロームテクノロジー研究機構
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金山 敏彦
半導体miraiプロジェクト 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
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